發生局部放電時，在放電區域中，分子運動劇烈并相互撞擊，在宏觀上產生聲波，通常將頻率大于20kHz的聲波稱為超聲波。通過檢測局部放電產生的超聲波信號來判定局部放電的方法稱為局部放電的超聲波檢測法。放電產生的聲能量與放電能量之間存在穩定的正比關系，這種比例關系在實際中雖然會受到各種因素的影響，但從統計的角度來看，他們之間的比例關系是肯定的。依據局部放電的機理，局部放電在初期表現為微弱的輝光放電，放電所釋出來放的能量很小，發展到放電后期將出現強烈的電弧放電，此時放電釋放的能量很大，可見局部放電的發展過程中放電所釋放的能量是從小到大變化的，根據他們之間的比例關系則聲能也是從小到大變化的。根據聲能與放電能量之間的正比關系，用超聲波信號聲壓的變化來代表局部放電所釋放能量的變化，通過測量超聲波信號的聲壓，推測放電的強弱，這就是超聲波信號檢測局部放電的基本原理。通過檢測局部放電產生的超聲波信號來判定局部放電的方法稱為局部放電的超聲波檢測法，其原理如圖所示。

開關柜局部放電超聲波檢測原理示意圖